Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Ravi, T.S. ; Marcus, R.B. ; Liu, D.

Tompkins, Harland G. ; Grivna, Gordon ; Cowden, William G. ; Leathersich, Cathy

Chan, Hiang C. ; Mathews, Viju K. ; Turner, Charles ; Fazan, Pierre C.

Lee, Ru‐Liang ; Terry, Fred L.

Namura, Takashi ; Uchida, Hirofumi ; Todokoro, Yoshihiro ; Inoue, M.

Carlsson, J.-O. ; Gorbatkin, S. ; Lubben, D. ; Greene, J.E.

King, W.D. ; Griffiths, G.J. ; Giugni, Stephen

Herrick, Robert W. ; Sabo, Lori G. ; Levy, Joseph L.

Vandenabeele, Peter ; Maex, K..

Asai, Satoru ; Hanyu, Isamu ; Hikosaka, Kohki

Ito, Tetsuo ; Okano, Sadao ; Takahashi, Shigeru ; Sugimoto, Aritoshi ; Kadota, Kazuya

Ono, Tetsuo ; Kashima, Hideo ; Hiraoka, Susumu ; Suzuki, Keizo ; Jahnke, Andreas

Higuchi, M. ; Ishikawa, T. ; Imanishi, K. ; Kondo, K.

Giugni, Stephen ; Tansley, T.L.

Okazaki, Shinji

Lee, K.Y. ; Kern, D.P. ; Ismail, K. ; Washburn, S.

Allee, D.R. ; Umbach, C.P. ; Broers, A.N.

Tiberio, R.C. ; Porkolab, G.A. ; Rooks, M.J. ; Wolf, E.D. ; Lang, R.J. ; Larsson, A. ; Forouhar, S. ; Cody, J. ; Wicks, G.W. ; Erdogan, T. ; King, O. ; Hall, D.G.

Keith, David W. ; Soave, Robert J. ; Rooks, M.J.

Reeves, C.M. ; Hohn, F.J. ; Wind, S.J. ; Lii, Y.T. ; Newman, T.H. ; Bucchignano, J.J. ; Klaus, D.P. ; Chiong, K.N.

Rooks, M.J. ; Eugster, C.C. ; del Alamo, J.A. ; Snider, G.L. ; Hu, E.L.

Marten, A. ; Schneider, H. ; Schweizer, H. ; Nickel, H. ; Schlapp, W. ; Losch, R. ; Dambkes, H. ; Marschall, P.

Adriaanse, J.P. ; van der Mast, K.D. ; van Zuylen, P.

Nummila, K. ; Tong, M. ; Ketterson, A.A. ; Adesida, I.