Microelectromechanical Systems, Journal of

Richter, A. ; Kuckling, Dirk ; Howitz, S. ; Thomas Gehring ; Arndt, K.-F.

Maharbiz, M.M. ; Holtz, W.J. ; Sharifzadeh, S. ; Keasling, J.D. ; Howe, R.T.

Arana, L.R. ; Schaevitz, S.B. ; Franz, A.J. ; Schmidt, M.A. ; Jensen, K.F.

Yong Xu ; Yu-Chong Tai ; Huang, A. ; Chih-Ming Ho

Baldi, Antonio ; Yuandong Gu ; Loftness, P.E. ; Siegel, R.A. ; Ziaie, B.

Greywall, D.S. ; Chien-Shing Pai ; Sang-Hyun Oh ; Chorng-Ping Chang ; Marom, Dan M. ; Busch, P.A. ; Cirelli, R.A. ; Taylor, J.A. ; Klemens, F.P. ; Sorsch, T.W. ; Bower, J.E. ; Lai, W.Y.-C. ; Soh, H.T.

Hautamaki, C. ; Li Cao ; Jia Zhou ; Mantell, S.C. ; Tae Song Kim

Annovazzi-Lodi, V. ; Merlo, S. ; Norgia, M. ; Spinola, G. ; Vigna, B. ; Zerbini, S.

Hien Duy Tong ; Berenschot, J.W.E. ; de Boer, M.J. ; Gardeniers, J.G.E. ; Wensink, H. ; Jansen, H.V. ; Nijdam, W. ; Elwenspoek, M.C. ; Gielens, F.C. ; van Rijn, C.J.M.

Greywall, D.S. ; Busch, P.A. ; Pardo, F. ; Carr, D.W. ; Bogart, G. ; Soh, H.T.

Lin Ma ; Antonsson, E.K.

Zhili Hao ; Wingfield, B. ; Whitley, M. ; Brooks, J. ; Hammer, J.A.

Chan, R. ; Lesnick, R. ; Becher, D. ; Milton Feng

Wenjing Ye ; Xin Wang ; Hemmert, W. ; Freeman, D. ; White, J.

Maruo, S. ; Ikuta, K. ; Korogi, H.

Elata, D. ; Bochobza-Degani, O. ; Nemirovsky, Y.

Gaspar, Joao ; Haohua Li ; Freitas, P.P. ; Chu, V. ; Conde, J.P.

Seeger, J.I. ; Boser, B.E.

Younis, M.I. ; Abdel-Rahman, E.M. ; Nayfeh, A.

Riehl, P.S. ; Scott, K.L. ; Muller, R.S. ; Howe, R.T. ; Yasaitis, J.A.

Cheng-Gang Xu ; Fiez, T.S. ; Mayaram, K.

Weinberg, M.S. ; Dube, Christopher E. ; Petrovich, A. ; Zapata, Angela M.

Teh, W.H. ; Chi-Te Liang ; Graham, M. ; Smith, Charles G.

Maxwell, R.B. ; Gerhardt, A.L. ; Toner, M. ; Gray, M.L. ; Schmidt, M.A.