Ion Implantation Technology Proceedings, 1998 International Conference on

Kirk, R. ; McManus, J.

Curello, G. ; McWilliams, T.

Yukimura, K. ; Masamune, Sadao ; Isono, Ryota ; Monguchi, Toshihide ; Yashioka, K.

McManus, J.V. ; Mayer, J.J. ; Hazel, J.L.

Simmons, J. ; Hilkene, M. ; Scottney-Castle, M. ; Wagner, D.W. ; Mitchell, J.

Benveniste, V.M. ; Kellerman, P. ; Graf, M.A.

Current, M. ; Foad, Majeed A. ; Brown, S. ; Lukaszek, W. ; Vella, M.C.

Satoh, S. ; Degawa, T. ; Watanabe, H. ; Ujihara, K. ; Oguro, K. ; Shimamura, K. ; Ochi, M. ; Kawaguchi, T. ; Kunitake, Y. ; Nakajima, K. ; Tanaka, M. ; Narita, H. ; Bell, E.W. ; Sieradzki, M. ; White, N.R.

Shallenberger, Jeffrey R. ; Cole, D.A. ; Downey, Daniel F. ; Falk, S. ; Zhiyong Zhao

Reimund, J. ; Lillian, P. ; Becker, K. ; St.Angelo, D.

Chia, Victor K.F. ; Edgell, Michael J. ; Biswas, Sukanta

Perel, A.S. ; Horsky, T.N. ; Sinclair, F.

Rose, Peter H.

Sawyer, William D.

Osburn, C.M. ; Ishida, E. ; Downey, D.F. ; Variam, N. ; Stockwell, W.

Stone, L. ; Becker, R. ; Gerghty, R. ; Stone, D. ; Kopalidis, P. ; Justesen, P. ; Bratschun, A.

Radovanov, Svetlana B. ; Corey, P. ; Angel, G. ; Brown, D.

Curello, G. ; Carroll, D. ; Marley, J. ; Zhang, X.-M. ; Brooks, N. ; Mason, P.

Erokhin, Y. ; Sawyer, W. ; Mack, M.E. ; Santiesteban, R. ; Mason, P. ; Persson, E. ; Treible, R.

Shallenberger, J.R. ; Cole, D.A. ; Novak, S.W. ; Moore, R.L. ; Edgell, M.J. ; Smith, S.P. ; Hitzman, C.J. ; Kirchhoff, J.F. ; Principe, E. ; Biswas, S. ; Bleiler, R.J. ; Nieveen, W. ; Jones, K.

Nambu, Y. ; Shibata, S. ; Itonaga, K. ; Hashimoto, S. ; Fuse, G.

Ranganathan, R. ; Krull, W. ; Sundstrom, H. ; Mack, M. ; Sedgewick, J. ; Eddy, R.

Ryssel, Heiner ; Frey, L. ; Haublein, V. ; Lucassen, M. ; Gyulai, J.