Interconnect Technology Conference and 2011 Materials for Advanced Metallization (IITC/MAM), 2011 IEEE International

Kim, Hyungjun ; Jaehong Yoon ; Han-Bo-Ram Lee

Akolkar, R. ; Indukuri, T. ; Clarke, J. ; Ponnuswamy, T. ; Reid, J. ; McKerrow, A.J. ; Varadarajan, S.

Wojcik, H. ; Kaltofen, R. ; Krien, C. ; Merkel, U. ; Wenzel, C. ; Bartha, J.W. ; Friedemann, M. ; Adolphi, B. ; Liske, R. ; Neumann, V. ; Geidel, M.

Maestre Caro, A. ; Travaly, Y. ; Maes, G. ; Borghs, G. ; Armini, S.

Stecher, M. ; Nelle, P. ; Busch, J. ; Alpern, P.

Kuper, F. ; Wessels, P. ; Ooms, E. ; van Herk, J. ; Rijnsburger, M. ; van Driel, W. ; Plagge, J.

Fischer, A.H. ; Penka, S. ; Antonin, G. ; Czekalla, M. ; Wallace, S. ; Oesinghaus, P. ; Kriz, J.

Rakheja, S. ; Naeemi, A.

Sato, M. ; Ogawa, S. ; Inukai, M. ; Ikenaga, Eiji ; Muro, T. ; Takakuwa, Y. ; Nihei, M. ; Yokoyama, Naoki

Fayolle, M. ; Lugand, J.F. ; Kachtouli, R. ; Okuno, H. ; Dijon, J. ; Gautier, P. ; Billon, T.

Chiodarelli, N. ; van der Veen, M.H. ; Vereecke, B. ; Cott, D.J. ; Groeseneken, G. ; Vereecken, P.M. ; Huyghebaert, C. ; Tokei, Z.

Huang, R.P. ; Hsien, Y.H. ; Tsai, T.C. ; Lin, W. ; Huang, H.F. ; Hsu, C.M. ; Tsai, M.C. ; Lin, K.H. ; Hsu, H.K. ; Lin, J.F. ; Yang, C.L. ; Wu, J.Y.

Frot, T. ; Volksen, W. ; Magbitang, T. ; Miller, D. ; Purushothaman, S. ; Lofaro, M. ; Bruce, R. ; Dubois, G.

Shyng-Tsong Chen ; Tomizawa, H. ; Tsumura, K. ; Tagami, M. ; Shobha, H. ; Sankarapandian, M. ; Van der Straten, O. ; Kelly, J. ; Canaperi, D. ; Levin, T. ; Cohen, S. ; Yin, Y. ; Horak, D. ; Ishikawa, M. ; Mignot, Y. ; Koay, C.-S. ; Burns, S. ; Halle, S. ; Kato, H. ; Landie, G. ; Xu, Y. ; Scaduto, A. ; Mclellan, E. ; Arnold, J.C. ; Colburn, M. ; Usui, T. ; Spooner, T.

Tagami, M. ; Yang, C.-C. ; Shobha, H. ; Soda, E. ; Madan, A. ; DeHaven, P. ; Murphy, R. ; Davis, R. ; Parks, C. ; Molis, S. ; Cohen, S. ; Ito, F. ; Spooner, T.

McDonough, C. ; Backes, B. ; Wang, W. ; Caramto, R. ; Geer, R.E.

Hsieh, C.C. ; Teng, H.A. ; Jeng, S.P. ; Jan, S.B. ; Chen, M.F. ; Chang, J.H. ; Chang, C.H. ; Yang, K.F. ; Lin, Y.C. ; Wu, T.J. ; Chiou, W.C. ; Hou, S.Y. ; Yu, D.C.H.

Hatanaka, M. ; Shibata, A. ; Harada, M. ; Toyoda, S. ; Ishikawa, M. ; Suu, K.

Cooper, D. ; Beche, A. ; Hartmann, J.-M. ; Carron, V. ; Rouviere, J.-L.

Futase, T. ; Oashi, T. ; Maeda, H. ; Inaba, Y. ; Tanimoto, H.