Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007. TRANSDUCERS 2007. International

Delapierre, G. ; Puers, R.

Pisano, A.P.

Hierold, Christofer

Kitamori, Takehiko

Todorova, M. ; Stucklin, P. ; Bertsch, A. ; Rohr, S. ; Renaud, P.

Gillot, F. ; Arata, H.F. ; Morin, F.O. ; Collard, D. ; Fujita, H.

Suzuki, Y. ; Kanai, M. ; Kawai, K. ; Nishimoto, T. ; Shoji, S.

Billat, S. ; Kliche, K. ; Gronmaier, R. ; Nommensen, P. ; Auber, J. ; Hedrich, F. ; Zengerle, R.

Ricco, A.J. ; Hines, J.W. ; Piccini, M. ; Parra, M. ; Timucin, L. ; Barker, V. ; Storment, C. ; Friedericks, C. ; Agasid, E. ; Beasley, C. ; Giovangrandi, L. ; Henschke, M. ; Kitts, C. ; Levine, L. ; Luzzi, E. ; Ly, D. ; Mas, I. ; Mclntyre, M. ; Oswell, D. ; Rasay, R. ; Ricks, R. ; Ronzano, K. ; Squires, D. ; Swaiss, G. ; Tucker, J. ; Yost, B.

Youngner, D.W. ; Lust, L. ; Carlson, D.R. ; Lu, S.T. ; Forner, L.J. ; Chanhvongsak, H.M. ; Stark, T.D.

Nieradko, L. ; Gorecki, C. ; Dziuban, J. ; Douahi, A. ; Giordano, V. ; Beugnot, J.-C. ; Guerandel, S. ; Moraja, M.

Lutz, M. ; Partridge, A. ; Gupta, P. ; Buchan, N. ; Klaassen, E. ; McDonald, J. ; Petersen, K.

Abdolvand, R. ; Mirilavasani, H. ; Ayazi, F.

Gattiker, F. ; Umbrecht, F. ; Muller, D. ; Neuenschwander, J. ; Sennhauser, U. ; Wendlandt, M. ; Hierold, C.

Ikebe, M. ; Ueo, D. ; Osabe, H. ; Inafune, K. ; Sano, E. ; Koutani, M. ; Ikeda, M. ; Mashiko, K.

Lenaerts, B. ; Peeters, F. ; Puers, R.

Sodagar, A.M. ; Perlin, G.E. ; Ying Yao ; Wise, K.D. ; Najafi, K.

Pursula, P. ; Marjonen, J. ; Ronkainen, H. ; Jaakkola, K.

Puech, M. ; Thevenoud, J.M. ; Gruffat, J.M. ; Launay, N. ; Godinat, P. ; Le Barillec, O.

Bertz, A. ; Fendler, R. ; Schuberth, R. ; Hentsch, W. ; Gessner, T.

Morikawa, Y. ; Murayama, T. ; Suu, K.